磁控溅射靶材透磁率测量解决方案

项目背景

  磁控溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。透磁率可以作为评估磁性靶材透磁性能的有效指标,其测试方法还没有相应的行业标准,很大程度上制约了国内磁性溅射靶材的研发、制作及工业化生产。
 

解决方案

1、测试设备:CIM-3140RMT透磁率测量装置 CIM-3140RMT透磁率测量装置是一款样品透磁测量设备,主要用于磁性溅射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等参数测量,并对测试结果进行统计分析,可绘制PTF曲线图、%PTF曲线图。 具有文件管理、测试和数据(图形)输出等功能, 可满足用户对磁性溅射靶材的测试、数据(报告)输出及数据管理等需求。


2、设备特点

  • ⑴、RMTest透磁测量系统为绿色软件,无需繁琐的安装过程。
  • ⑵、测量软件运行于Windows XP或 Win 7 操作系统下,符合Windows软件规范,操作直观简捷。
  • ⑶、采用横向探头测量样品表面的透磁。
  • ⑷、磁强计具备自动清零功能,能一键对表头零点进行清零。
  • ⑸、可在软件界面选择磁场测试量程,无需通过手动按键切换量程档位。
  • ⑹、测试结果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
  • ⑺、可导入多组数据进行多个半径曲线对比。
  • ⑻、测试结果在PTF或%PTF坐标上可以通过双击波形调出单点捕捉功能,可以在软件界面最下方显示鼠标 当前选中位置点的相对角度和磁场强度值。
  • ⑼、仪器自带水平仪。
  • ⑽、支持各种型号的喷墨或激光打印机,可直接打印测试报告。
  • ⑾、可直接通过E-mail发送彩色的测试报告。
  • ⑿、有数据库功能,可将测试数据输出到EXCEL中,便于对测试结果进行分析。
  • ⒀、可将测试报告转换(保存)为图片文件,以方便在论文中插图。



 3、主要技术参数

项目

指标

系统控制

PC+6616PX 16位数据采集卡

X单轴行程

0-250mm,电动调节

Z单轴行程

0-200mm,手动调节

R旋转轴

角度刻线间隔5度,旋转速度1-6度/秒可调

测试时间

测试时间可调,最快60秒/圈

测量范围

试样外径Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm

磁强计

量程

1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs

测量精度

满量程达0.5%

测量参数

PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp

A/D数据采集

16Bits,旋转分辨率:3600点/360º

测量结果重复度

小于0.5%

测量软件

Windows 7运行环境,测量数据可以EXCEL形式保存在硬盘,可随时查询

测量报告

透磁场坐标和透磁率坐标

合格判定

按标准进行判定

 


 4、软件界面



5、测试曲线.


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