项目背景
磁控溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。透磁率可以作为评估磁性靶材透磁性能的有效指标，其测试方法还没有相应的行业标准，很大程度上制约了国内磁性溅射靶材的研发、制作及工业化生产。
解决方案
1、测试设备：CIM-3140RMT透磁率测量装置 CIM-3140RMT透磁率测量装置是一款样品透磁测量设备，主要用于磁性溅射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等参数测量，并对测试结果进行统计分析，可绘制PTF曲线图、%PTF曲线图。 具有文件管理、测试和数据（图形）输出等功能， 可满足用户对磁性溅射靶材的测试、数据（报告）输出及数据管理等需求。
2、设备特点
- ⑴、RMTest透磁测量系统为绿色软件，无需繁琐的安装过程。
- ⑵、测量软件运行于Windows XP或 Win 7 操作系统下，符合Windows软件规范，操作直观简捷。
- ⑶、采用横向探头测量样品表面的透磁。
- ⑷、磁强计具备自动清零功能，能一键对表头零点进行清零。
- ⑸、可在软件界面选择磁场测试量程，无需通过手动按键切换量程档位。
- ⑹、测试结果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
- ⑺、可导入多组数据进行多个半径曲线对比。
- ⑻、测试结果在PTF或%PTF坐标上可以通过双击波形调出单点捕捉功能，可以在软件界面最下方显示鼠标 当前选中位置点的相对角度和磁场强度值。
- ⑼、仪器自带水平仪。
- ⑽、支持各种型号的喷墨或激光打印机，可直接打印测试报告。
- ⑾、可直接通过E-mail发送彩色的测试报告。
- ⑿、有数据库功能,可将测试数据输出到EXCEL中，便于对测试结果进行分析。
- ⒀、可将测试报告转换（保存）为图片文件，以方便在论文中插图。
3、主要技术参数
项目 | 指标 | |
系统控制 | PC+6616PX 16位数据采集卡 | |
X单轴行程 | 0-250mm，电动调节 | |
Z单轴行程 | 0-200mm，手动调节 | |
R旋转轴 | 角度刻线间隔5度，旋转速度1-6度/秒可调 | |
测试时间 | 测试时间可调，最快60秒/圈 | |
测量范围 | 试样外径Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm | |
磁强计 | 量程 | 1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs |
测量精度 | 满量程达0.5% | |
测量参数 | PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp | |
A/D数据采集 | 16Bits，旋转分辨率：3600点/360º | |
测量结果重复度 | 小于0.5% | |
测量软件 | Windows 7运行环境，测量数据可以EXCEL形式保存在硬盘，可随时查询 | |
测量报告 | 透磁场坐标和透磁率坐标 | |
合格判定 | 按标准进行判定 | |
4、软件界面
5、测试曲线.
